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智能動態(tài)配氣儀

一、智能動態(tài)配氣儀特點
高精度、高分辨率控制
低功率(功率大小取決于配氣路數(shù))
各路 MFC 集成 20 種基礎氣體種類
各路 MFC 可自定義 10 種混合氣體(20 種基礎氣體種類按比例混合)
數(shù)字化控制,RS-485 Modbus RTU 通信模式

  • 產品型號:YP-PQY
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-04-15
  • 訪  問  量:203
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聯(lián)系電話:19163128385

產品詳情
品牌優(yōu)云譜YOUYUNPU各路 MFC 讀數(shù)精度±0.8% Rdg
各路 MFC 滿量程精度±0.2% FS各路 MFC 重復性<±0.2% FS
稀釋比1000:1各路耐壓1 MPa
工作電壓AC 220V±15%

一、智能動態(tài)配氣儀特點

高精度、高分辨率控制

低功率(功率大小取決于配氣路數(shù))

各路 MFC 集成 20 種基礎氣體種類

各路 MFC 可自定義 10 種混合氣體(20 種基礎氣體種類按比例混合)

數(shù)字化控制,RS-485 Modbus RTU 通信模式

寬流量量程范圍

無需預熱

無安裝方向限制

具有高重復性和高可靠性

采用電磁比例閥,使用壽命長,響應速度快

自帶溫度補償,補償范圍 0-50℃

內部閉環(huán)控制,具有高穩(wěn)定性

小封裝尺寸

二、智能動態(tài)配氣儀量程及精度簡介

稀釋比:最高 1000:1(更高稀釋比建議咨詢廠家)

各路 MFC 滿量程精度:±0.2%

各路 MFC 讀取精度:±0.8%

各路 MFC 可重復性:±0.2%FS

各路 MFC 響應時間:<100ms(調節(jié) PID控制參數(shù)可縮短響應時間),數(shù)字式設計簡介

動態(tài)稀釋儀內部配置了高精度質 量流量控制器(MFC),各路 MFC 標配高精度傳

感器和數(shù)字電路,數(shù)字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。質量流量控制器采用標準的RS-485 Modbus RTU 通信模式。

三、應用領域

氣相和液相色譜儀

半導體工藝

環(huán)境監(jiān)測設備

微反應裝置及材料制備實驗裝置(CVD)

氣體發(fā)生器

配氣混氣系

四、功能介紹

流量控制 ---可實現(xiàn)高精度、高重復性、多種氣體質量流量控制。

獨立使用  ---無需連接任何設備,可通過屏幕完成大部分功能操作。

多種量程選擇  ---根據稀釋比需求各路 MFC 量程最小量程 10sccm,最大量程 50slpm 可選。

內置 20 種基本氣體 ---各路 MFC 內置 20 種基本氣體,氣體種類可定制。

10 種自定義混合氣 ---各路 MFC 可根據使用需求,自定義混合氣。

電氣接口  ---標準配置 1 個 AC220V 三項插座

控制方式  ---屏幕使用 RS-485 通信與內部 MFC 進行通信。

標準 Modbus-RTU  ---RS-485 通信采用標準 Modbus-RTU 通信協(xié)議。

五、技術參數(shù)

1.運行參數(shù)

各路 MFC 讀數(shù)精度  ±0.8% Rdg

各路 MFC 滿量程精度 ±0.2% FS

各路 MFC 重復性 <±0.2% FS

各路 MFC 零點漂移和滿量程漂移 <±0.02% FS/℃/Atm

稀釋比 1000:1

各路 MFC 典型響應時間 <100 毫秒(可調節(jié) PID 參數(shù)達到更短時間)

各路 MFC 啟動預熱時間 <1 秒

各路 MFC 標準工況 20℃&101.325kPa(標準工況溫度可通過 RS485 調整)

各路耐壓 1 MPa

安裝方向要求 無

電氣參數(shù) 工作電壓 AC 220V±15%

功率 取決于配氣儀路數(shù)

數(shù)字控制信號 RS-485 Modbus-RTU

電信號接口 AC220V 三項插座

2.物理參數(shù)

各路 MFC 閥門  比例閥(常閉)

各路 MFC 通過介質 干燥氣體

各路 MFC 工作溫度 0-50℃

各路 MFC 傳感器溫度補償范圍 0-50℃

各路 MFC 工作濕度 0-100%(非冷凝)

存儲溫度 -40~85℃

各路 MFC 泄漏率 <0.020sccm He (壓差 150psi)




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